양산 라인에서 특정 파라미터의 공정 능력(Cpk)이 낮을 때, 이를 개선하기 위해 어떤 순서로 접근하시겠어요?

먼저 Cp와 Cpk를 함께 봅니다. Cp는 충분한데 Cpk만 낮으면 평균이 규격 중심에서 벗어난 것이므로 타깃 보정이나 레시피 오프셋으로 비교적 쉽게 개선됩니다. 둘 다 낮으면 산포 자체가 문제이므로 변동을 로트 간, 웨이퍼 간, 웨이퍼 내, 장비·챔버 간 성분으로 분해해 가장 큰 기여 인자를 찾습니다. 이때 계측 자체의 오차가 섞이지 않도록 Gage R&R로 측정 신뢰성을 먼저 확인합니다. 이후 주요 인자를 DOE로 최적화하고, 챔버 간 매칭과 PM 주기를 표준화하며, 필요하면 계측 결과를 다음 로트 조건에 반영하는 R2R/APC 제어를 적용합니다. 마지막으로 관리도로 개선 효과와 안정성을 검증합니다.