제조·이공계 전공 · 기초
실리콘 잉곳에서 웨이퍼가 만들어지는 과정을 아는 대로 설명해 주세요.
힌트 · 다결정 실리콘 용융, 초크랄스키법 단결정 성장, 슬라이싱과 래핑·연마까지 순서로 정리하세요.
초크랄스키법단결정시드슬라이싱CMP/폴리싱결정방향
모범답안
먼저 고순도 다결정 실리콘을 도가니에서 녹이고, 초크랄스키법으로 시드 결정을 담근 뒤 회전시키며 천천히 끌어올려 단결정 잉곳을 성장시킵니다. 이때 도펀트를 넣어 기판의 형태와 비저항을 결정합니다. 성장된 잉곳은 직경을 균일하게 가공하고 결정 방향을 표시한 뒤 얇게 슬라이싱합니다. 이후 래핑과 에칭으로 절단 손상층을 제거하고 폴리싱으로 표면을 거울면 수준으로 평탄화한 다음 세정과 검사를 거쳐 소자용 웨이퍼가 됩니다.
읽었다면, 이제 직접 답해볼 차례예요
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