포토 공정과 식각 공정은 어떤 관계인지, 두 공정의 역할 차이를 설명해 주세요.

포토 공정은 패턴을 만드는 단계이고 식각은 그 패턴을 실제 막에 옮기는 단계입니다. 포토에서는 감광막을 도포하고 마스크를 통해 노광한 뒤 현상해서 감광막 패턴을 만듭니다. 이 감광막이 식각 마스크가 되어, 노출된 부분의 산화막이나 금속막만 제거되고 덮인 부분은 남습니다. 식각은 습식과 건식으로 나뉘는데 미세 패턴에는 방향성이 좋은 이방성 건식식각을 주로 사용합니다. 즉 포토가 설계도를 그리고 식각이 그대로 깎아내는 관계라고 볼 수 있습니다.