식각 공정에서 선택비(Selectivity)란 무엇이고, 선택비가 낮으면 어떤 문제가 생기는지 설명해 주세요.

선택비는 식각하려는 막의 식각률을 하부막이나 마스크막의 식각률로 나눈 비율입니다. 예를 들어 폴리실리콘을 식각할 때 게이트 산화막 대비 선택비가 충분히 높아야 산화막이 뚫리지 않고 채널 영역이 손상되지 않습니다. 선택비가 낮으면 오버에칭 구간에서 하부막이 함께 깎여 소자 특성이 열화되고, 마스크인 PR도 빨리 소모되어 CD가 커지거나 프로파일이 무너집니다. 그래서 가스 조합과 압력, 파워를 조절해 폴리머 형성을 이용하거나 종료점 검출로 오버에칭 시간을 최소화합니다.